商务部于2015年12月23日收到该交易的经营者集中申报，2016年4月21日立案审查，目前该案处于进一步审查延长阶段。2015年，泛林和科天分别为全球第二和第五大半导体制造设备企业，交易后企业将成为全球第一。经审查，商务部认为该项集中可能具有排除、限制竞争效果，并向当事方提出了竞争关注，要求其予以解决。 在审查过程中，中国商务部与美国、韩国等反垄断执法机构进行了密切合作，多次就审查进展、竞争关注等交换意见。