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张卫平， 上海交通大学电子信息与电气工程学院教授，
博士生导师
，微米纳米加工技术国家级重点实验室副主任，中国微米纳米技术学会珀金优秀科学家，全国微机电技术标准化技术委员会委员，上海市惯性技术学会理事，入选教育部新世纪优秀人才支持计划、上海市人才发展资金支持计划、上海交通大学晨星优秀青年学者，《Robotics》编委，《中国惯性技术学报》编委，《无人系统技术》编委。多年来一直从事智能无人微系统、仿生微机器人、微惯性技术、微机电系统（MEMS）、模拟数字嵌入式电路检测控制与信息处理技术的研究，承担国家863计划、国家自然科学基金项目、国家973计划、总装预研及其他省部级项目百余项。MEMS和微系统技术、微仿生机器人、微惯性技术、微传感器等方面研究成果获得国家技术发明二等奖、上海市技术发明一等奖等科技奖励10余次，在国内外学术期刊或会议上发表论文200余篇，出版专著4部，申请发明专利200余项（其中授权发明专利180余项），获得国家软件著作权10项。
人物经历
1990.8-1994.7年重庆大学
机械工程专业
本科，1994.8-1997.7重庆大学机械工程专业硕士，2005.4上海交通大学
电子科学与技术专业
博士，1997.8-1999.8上海交通大学信息存储研究中心助教，1999.8 -2004.8年上海交通大学微纳米科学技术研究院讲师，2004.8-2009.12年
上海交通大学微纳科学技术研究院
副教授，2009.12.31起任上海交通大学微纳科学技术研究院研究员。
研究方向
主要贡献
多年来一直从事
微机电系统
、精密仪器及其相关技术的研究，先后主持或参与多项国家和省部级课题，研究内容涉及微惯性技术（悬浮转子微陀螺、固态微陀螺、高G加速度计等）、MEMS安保技术、
PCR芯片
、微仿生机器人（仿鸟/仿昆扑翼飞行器等）、微减速器、电磁型微马达、旋转式微泵、LiGA及准LiGA技术中的微复制工艺、宝钢螺旋飞剪改造工程、H型钢轧机动态模拟与仿真、同步辐射生物大分子光束线、XSAF光束线关键设备等，其中包括主持的
国家863计划
“可用于微卫星及微飞行器的磁悬浮转子微陀螺的研究”、“一种新的用于信息安全的MEMS强链”、“用于信息安全的MEMS强链的应用研究”、“基于MEMS强链的硬盘物理认证和物理加密技术”，主持的
自然科学基金
项目“毫米尺度惯性级可控“势能阱”永磁转子自稳悬浮新概念MEMS 微陀螺的研究”、“基于MEMS的磁阿基米德反磁势阱钳生物微操纵与芯片”，主持的“微气泡驱动的集成PCR反应器的研究”、“基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺的基础研究”、“非硅多梁圆盘型高过载自检型微加速度计研究”、“基于MEMS的振翅飞行机械昆虫的研究”、“基于MEMS的微惯性器件基础研究”等省部级或学校支持的研究项目，参与的“微机械悬浮转子陀螺技术”、“非硅精密机械制造技术”、“先进惯性传感器研究”、“基于MEMS技术的仿生微型飞行机器人的研究”等国家和省部级项目。
主要研究兴趣包括：微惯性(微陀螺、
微加速度计
等)、微流控生化芯片、微仿生机器人、微安全保证等微纳光机电技术及其相关的设计、电路控制检测、微纳加工和系统集成和应用。在国内外学术期刊或会议上发表论文100余篇，申请专利100余项，授权专利80余项。
